TY  - BOOK
AU  - Пирс,К.
AU  - Зи,С.М.
AU  - Чистяков,Юрий Дмитриевич
AU  - Адамс,А.
AU  - Кац,Л.
TI  - Технология СБИС: в 2 кн
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Мир
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные большие - Производство
KW  - rurkp
KW  - рост кристаллов
KW  - кремний
KW  - подложки кремниевые
KW  - эпитаксия
KW  - эпитаксиальные технологии
KW  - осаждение диэлектрических пленок
KW  - осаждение плазмохимическое
KW  - нитрид кремния
KW  - двуокись кремния
KW  - поликремний
KW  - пленки окисные
KW  - окисление поликремния
KW  - диффузия в поликремнии
KW  - ионная имплантация
KW  - литография оптическая
KW  - литография электронно-лучевая
KW  - литография рентгеновская
KW  - литография интегральных схем
N1  - Авт. указаны на обороте тит. л; Библиогр. в конце глав
ER  -