TY  - BOOK
AU  - Тимошенков,Сергей Петрович
AU  - Калугин,Виктор Владимирович
TI  - Примерная программа учебной дисциплины " Технология наносистем"
T2  - Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника"
PY  - 2011///
CY  - Москва
PB  - МИЭТ
KW  - учебные программы
KW  - электроника
KW  - наноэлектроника
KW  - учебно-методические комплексы
KW  - нанотехнологии
KW  - микроэлектроника
KW  - контрольно-измерительные материалы
KW  - инновационные технологии обучения
KW  - наноэлектроннные материалы
KW  - наноэлектронные технологии
KW  - кремниевые структуры
KW  - наноэлектроника, технологические процессы
N1  - Библиогр.: с. 38 - 39
ER  -