Примерная программа учебной дисциплины " Технология наносистем" / Национальный исследовательский университет "МИЭТ" ; [сост.: С. П. Тимошенков, В. В. Калугин]. - Москва : МИЭТ, 2011. - 40 с. - ( Учебно-методический комплекс для бакалавров. Направление "Наноэлектроника" )