TY  - GEN
AU  - Войцеховский,Александр Васильевич
AU  - Григорьев,Денис Валерьевич
AU  - Коротаев,Александр Григорьевич
AU  - Коханенко,Андрей Павлович
AU  - Талипов,Нияз Хатимович
TI  - Имплантация ионов бора в варизонные эпитаксиальные пленки МЛЭ КРТ
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - производство приборов
KW  - электронная техника
KW  - варизонные структуры
KW  - теоретическое моделирование
KW  - ионная имплантация
N1  - Библиогр.: 21 назв
ER  -