TY  - GEN
AU  - Грицык,Валерий Юрьевич
AU  - Алюба,В.И.
AU  - Довыдова,Т.А.
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
TI  - Водородный сенсор на основе структур PD-N-SI
KW  - физика окружающей среды
KW  - химический состав
KW  - полупроводниковые сенсоры
KW  - экологический контроль
KW  - концентрация
KW  - газ
KW  - технологические процессы
KW  - тонкие пленки
KW  - водород
KW  - компьютерные системы
ER  -