TY  - GEN
AU  - Анищенко,Екатерина Валентиновна
AU  - Еремина,Нина Степановна
AU  - Мокроусов,Геннадий Михайлович
TI  - Взаимосвязь качества маскирующего рельефа с условиями нанесения фоторезиста ФП-9120 и подготовки поверхности подложки
KW  - редкоземельные элементы
KW  - химические науки
KW  - полифункциональные материалы
KW  - свойства материалов
KW  - фоторезист
KW  - подложка
KW  - концентрация
KW  - адгезия
KW  - растворы
KW  - пленки
KW  - труды ученых ТГУ
ER  -