TY  - BOOK
AU  - Окунев,Алексей Олегович
AU  - Ткаль,Валерий Алексеевич
AU  - Данильчук,Леонид Нестерович
TI  - Исследование дефектов структуры монокристаллического карбида кремния прямыми физическими методами: монография
SN  - 5898963219
PY  - 2006///
CY  - Великий Новгород
PB  - НовГУ
KW  - Кремний, карбид
KW  - Монокристаллы
KW  - Дефекты
KW  - RuMoRKP
KW  - дефекты монокристаллов
KW  - рентгеновская топография
KW  - поляризационно-оптический анализ
KW  - цифровая обработка изображений
KW  - Бормана эффект
KW  - кристаллические решетки
KW  - эпитаксиальные слои
KW  - дислокации
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - монокристаллы полупроводников
N1  - Библиогр.: с. 229-252
ER  -