TY - SER AU - Коваль,Николай Николаевич AU - Иванов,Юрий Федорович AU - Петухов,Юрий Александрович AU - Калин,А.В. AU - Тересов,Антон Дмитриевич AU - Углов,Владимир Васильевич ED - Томский государственный университет ED - Томский государственный университет TI - Микроструктура и фазовый состав системы циркониевое покрытие–кремний, обработанной сильноточными электронными пучками KW - электронно-лучевая обработка KW - электронная микроскопия KW - сильноточные электронные пучки KW - покрытия KW - цирконий KW - кремний KW - статьи в журналах N1 - Библиогр.: 30 назв UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000478736 ER -