TY  - BOOK
AU  - Бачурин,Владимир Иванович
TI  - Распыление твёрдых тел ионами инертных и химически активных газов при фазовых превращениях: автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : 01.04.04
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - [б. и.]
KW  - физическая электроника
KW  - nsnr
KW  - авторефераты диссертаций
N1  - Библиогр.: с. 32-35
ER  -