TY - BOOK AU - Данильчук,Леонид Нестерович AU - Окунев,Алексей Олегович AU - Ткаль,Валерий Алексеевич TI - Рентгеновская дифракционная топография дефектов в кристалах на основе эффекта Бормана SN - 5898963030 PY - 2006/// CY - Великий Новгород PB - [б. и.] KW - Бормана эффект KW - рентгенотопографические изображения KW - дефекты кристаллов KW - дефекты монокристаллов KW - цифровая обработка изображений KW - поляризационно-оптические изображения KW - аппаратно-программное обеспечение KW - фильтрация изображений KW - вейвлет-анализ KW - макрополя деформаций KW - микродефекты кристаллов KW - монокристаллы полупроводников KW - дислокационные структуры KW - дефекты упаковки в монокристаллах KW - эпитаксиальные слои германия KW - эпитаксиальные слои кремния KW - эпитаксиальный рост кристаллов KW - производство интегральных микросхем KW - производство полупроводниковых приборов N1 - Библиогр.: с. 464-493 ER -