TY  - BOOK
AU  - Асеев,Александр Леонидович
AU  - Ваулин,Юрий Дмитриевич
AU  - Стенин,Сергей Иванович
ED  - Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова (Новосибирск)
TI  - Атомная структура полупроводниковых систем
SN  - 5769208414
PY  - 2006///
CY  - Новосибирск
PB  - Изд-во Сиб. отд-ния РАН
KW  - Полупроводниковые соединения
KW  - Структура
KW  - RuMoRKP
KW  - полупроводниковые кристаллы
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - дислокации в полупроводниках
KW  - точечные дефекты
KW  - кремний
KW  - германий
KW  - структурные перестройки
KW  - поверхности полупроводников
KW  - микроэлектроника
KW  - оптоэлектроника
KW  - наноэлектроника
KW  - наноструктуры
KW  - нанотехнологии
KW  - молекулярно-лучевая эпитаксия
KW  - нанотранзисторы кремний-на-изоляторе
KW  - нанолитография
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - монокристаллы
KW  - пленка-подложка
KW  - германий-арсенид галлия
KW  - эпитаксиальные слои
KW  - электронная микроскопия
KW  - ионная имплантация
KW  - гетероструктуры
KW  - транзисторы одноэлектронные
KW  - нанокластеры кремниевые
KW  - наноматериалы
N1  - Авт. указаны в содерж; Библиогр. в конце разд
ER  -