TY  - BOOK
AU  - Таиров,Юрий Михайлович
AU  - Цветков,Валерий Федорович
TI  - Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов: учебник для вузов
T2  - Учебники для вузов.  Специальная литература
SN  - 5811404387
PY  - 2002///
CY  - Санкт-Петербург
PB  - Лань
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - технологические процессы
KW  - материалы электронной техники
KW  - физико-химические процессы
KW  - переработка сырьевых материалов
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - диэлектрические материалы
KW  - выращивание монокристаллов
KW  - монокристаллические материалы
KW  - легирование монокристаллов
KW  - математическое моделирование
KW  - некристаллические материалы
KW  - керамические материалы
KW  - стеклокерамические материалы
KW  - пленочные керамические материалы
KW  - керамика конденсаторная
KW  - керамика установочная
KW  - пьезокерамические материалы
KW  - керамика ферритовая
KW  - ситаллы
N1  - Библиогр.: с. 418; Предм. указ.: с. 419-421
ER  -