Таиров Ю. М. Технология полупроводниковых и диэлектрических приборов : учебник для вузов / Ю. М. Таиров, В. Ф. Цветков. - Изд. 3-е, стер.. - Санкт-Петербург : Лань, 2002. - 422, [1] с.: ил. - ( Учебники для вузов. Специальная литература )