TY  - BOOK
AU  - Барыбин,Анатолий Андреевич
TI  - Электроника и микроэлектроника: физико-технологические основы : [учебное пособие для вузов по направлениям 550700 и 654100 "Электроника и микроэлектроника" подготовки бакалавров, магистров и дипломированных специалистов]
SN  - 5922106791
PY  - 2006///
CY  - М.
PB  - Физматлит
KW  - Электроника
KW  - Физические основы
KW  - RuMoRKP
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - физика поверхности
KW  - микроэлектроника
KW  - термодинамика
KW  - энтропия
KW  - технологические процессы
KW  - фазовые превращения
KW  - точечные дефекты в кристаллах
KW  - кристаллические решетки
KW  - химические превращения веществ
KW  - межфазные взаимодействия
KW  - поверхности твердых тел
KW  - рост пленок
KW  - диффузия атомов
KW  - легирование полупроводников
KW  - фазовое равновесие
KW  - химическое равновесие
KW  - электрохимическое равновесие
KW  - химическая термодинамика
KW  - химический транспорт веществ
KW  - эпитаксия газофазная
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - монокристаллы
KW  - эпитаксиальный рост пленок
KW  - термодинамические расчеты
N1  - Библиогр.: с. 415-416; Предм. указ.: с. 417-423
ER  -