TY  - BOOK
AU  - Киреев,Валерий Юрьевич
AU  - Столяров,Александр Александрович
TI  - Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
T2  - Мир электроники
SN  - 5948360393
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - Металлы
KW  - Осаждение из газовой фазы
KW  - RuMoRKP
KW  - Микроэлектронные схемы интегральные
KW  - Производство
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - термоактивированные процессы
KW  - плазмоактивированные процессы
KW  - эпитаксиальные монокристаллические пленки
KW  - кремний
KW  - германий
KW  - полупроводниковые гетероструктуры
KW  - поликремний легированный
KW  - поликремний нелегированный
KW  - кремний аморфный
KW  - стекла силикатные
KW  - нитрид кремния
KW  - оксинитрид кремния
KW  - диэлектрические пленки
KW  - диэлектрические постоянные
KW  - вольфрам
KW  - титан
KW  - тантал
KW  - алюминий
KW  - медь
KW  - фоторезисторы кремнеорганические
KW  - микроструктуры
KW  - интегральные микросхемы
KW  - технология производства микросхем
N1  - Библиогр.: с. 188-190
ER  -