TY  - BOOK
AU  - Неволин,Владимир Кириллович
TI  - Зондовые нанотехнологии в электронике: [учебное пособие для вузов по специальностям 210601 "Нанотехнология в электронике" и 210602 "Наноматериалы" направления подготовки 210600 "Нанотехнология" и по специальностям 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и 210108 "Микросистемная техника" направления подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
T2  - Мир электроники
SN  - 5948360989
PY  - 2006///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - нанотехнология
KW  - RuMoRKP
KW  - Туннельные микроскопы
KW  - Наноструктуры (физ.)
KW  - Микроскопические исследования
KW  - зондовая микроскопия
KW  - нанотрубки углеродные
KW  - наноразмерные структуры
KW  - наноэлектроника
KW  - проводники квазиодномерные
KW  - микропроводники полимерные
KW  - наноэлектроника металлическая
KW  - нанотранзисторы
KW  - инверторы
KW  - наноэлектроника углеродная
KW  - нанотехнологии зондовые
KW  - нанорельеф поверхности
KW  - полупроводниковые подложки
KW  - физика поверхности
KW  - массоперенос межэлектродный
KW  - массоперенос электрохимический
KW  - наноэлектроника вакуумная
KW  - микроэлектроника вакуумная
KW  - учебные пособия для вузов
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -