TY - BOOK AU - Боргардт,Николай Иванович AU - Кукин,Владимир Николаевич AU - Мазуренко,Сергей Николаевич AU - Чаплыгин,Юрий Александрович TI - Нанотехнологии в электронике SN - 5948360598 PY - 2005/// CY - Москва PB - Техносфера KW - нанотехнология KW - RuMoRKP KW - электронная микроскопия KW - электронные микроскопы KW - дифракция электронов KW - цифровая обработка изображений KW - полупроводниковые гетероструктуры KW - наноэлектроника углеродная KW - фуллерены KW - нанотрубки KW - углеситаллы KW - нанотрубки углеродные KW - зондовая микроскопия KW - наноэлектронные материалы KW - наноструктуры KW - физика поверхности KW - зондовое окисление локальное KW - нанолитография KW - наноструктуры поверхностные периодические KW - наноразмерные пористые материалы KW - фотонные кристаллы KW - наноструктурированные поверхности KW - микроскопия атомно-силовая KW - наноразмерные структуры имплантированные KW - кобальта дисицилид KW - кремниевые подложки KW - силициды KW - интегральные схемы KW - ионный синтез KW - полупроводниковые структуры самоорганизованные KW - фрактальный анализ KW - квантовые точки имплантированные KW - наноразмерные кластеры KW - молекулярно-лучевая эпитаксия KW - гетероэпитаксиальный рост пленок KW - нанокристаллы KW - транзисторы полевые гетеропереходные KW - нанотехнологии зондовые KW - арсенид галлия, гетероструктуры KW - наноэлектроника металлическая KW - нанотранзисторы KW - инверторы KW - наноразмерные структуры волноводные KW - оптические волокна KW - фотонно-кристаллические волокна KW - доменные структуры периодические KW - сегнетоэлектрики KW - нанокомпозиты KW - нанокерамика KW - сверхпроводники высокотемпературные KW - наносистемная техника KW - микросистемная техника KW - кремний-на-изоляторе, технология KW - нанотехнологии миокарда KW - биочипы KW - нанороботы внутрисосудистые KW - наносенсоры биомедицинские KW - сердце искусственное KW - нанообъекты сердца KW - микророботы внутрисосудистые KW - электрокардиостимуляторы KW - дефибрилляторы сердца N1 - Авт. указаны в содерж; Посвящ. 40-летию МИЭТ; Библиогр. в конце гл ER -