TY  - SER
AU  - Калыгина,Вера Михайловна
AU  - Максимова,Надежда Кузьминична
AU  - Черников,Евгений Викторович
AU  - Цымбалов,Александр Вячеславович
TI  - Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова
KW  - диоксид олова
KW  - аммиак
KW  - тонкие пленки
KW  - магнетронное распыление
KW  - термоциклирование
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 9 назв
N2  - Изучено влияние режимов работы на величину отклика сенсоров аммиака на основе пленок диоксида
олова. Образцы получены в результате высокочастотного магнетронного распыления мишени SnO2 : Sb
 на сапфировые подложки с предварительно нанесенными Pt-электродами и нагревателем. Варьирование
 длительности цикла нагрева и снижение температуры в цикле охлаждения позволяют повысить величину
 отклика на один-два порядка. Полученные результаты объясняются изменением плотности химически
 адсорбированного кислорода на поверхности пленки SnO2 : Sb в зависимости от температурного режима
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000794350
ER  -