TY  - GEN
AU  - Соколова,О.В.
AU  - Шамирян,Д.Г.
TI  - Исследование процесса газофазного травления кремния дифторидом ксенона
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - полупроводниковые приборы
KW  - газофазное травление
KW  - кремний
KW  - дифторид ксенона
KW  - математическое моделирование
KW  - Монте-Карло метод
N1  - Библиогр.: 1 назв
ER  -