Соколова О. В. Исследование процесса газофазного травления кремния дифторидом ксенона / О. В. Соколова, Д. Г. Шамирян // Физика твердого тела : тезисы докладов V Российской научной студенческой конференции, 14-16 мая 1996 г.. Томск, 1996. С. 91