TY  - GEN
AU  - Глушко,Н.О.
AU  - Панин,Алексей Викторович
TI  - Влияние лазерного отжига на электрические характеристики структур металл-диэлектрик-GaAs
KW  - физика полупроводников
KW  - полупроводники
KW  - лазерный отжиг
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - импульсный лазерный отжиг
KW  - электрические характеристики
KW  - МДП-структуры
KW  - арсенид галлия
ER  -