TY  - BOOK
AU  - Воротынцев,Владимир Михайлович
AU  - Скупов,Владимир Дмитриевич
TI  - Базовые технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"
SN  - 9785392303083
PY  - 2019///
CY  - Москва
PB  - Проспект
KW  - микроэлектроника
KW  - наноэлектроника
KW  - материалы микроэлектроники
KW  - материалы наноэлектроники
KW  - полупроводниковые материалы высокочистые, технологии получения
KW  - полупроводниковые подложки, обработка абразивная
KW  - полупроводниковые подложки, обработка химическая
KW  - приборные структуры, технологии формирования
KW  - эпитаксия газофазная, метод
KW  - эпитаксия  жидкофазная, метод
KW  - эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
KW  - осаждение диэлектрических слоев
KW  - литография в микроэлектронике
KW  - легирование полупроводников
KW  - осаждение тонких пленок
KW  - радиационно-термические обработки
KW  - электронные структуры, технологии изготовления
KW  - кремний на диэлектрике, структуры
KW  - наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание
KW  - квантоворазмерные структуры
KW  - микротехнологии в микросистемной технике
KW  - нанотехнологии в микросистемной технике
KW  - дефекты в кристаллах, классификация
KW  - собственные точечные дефекты
KW  - кристаллы бездислокационные
KW  - дефектообразование в приборных структурах
KW  - дислокационная структура кристаллов
KW  - контрольные вопросы
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -