TY  - BOOK
AU  - Пичугин,Игорь Геннадьевич
AU  - Таиров,Юрий Михайлович
TI  - Технология полупроводниковых приборов: [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"]
PY  - 1984///
CY  - Москва
PB  - Высшая школа
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - полупроводниковые приборы, технология
KW  - омические контакты
KW  - поверхности полупроводников, обработка
KW  - конструкции полупроводниковых приборов
KW  - контроль технологических процессов
KW  - полупроводниковые материалы, обработка
KW  - фотохимические процессы
KW  - интегральные микросхемы, производство
KW  - эпитаксиальные процессы
KW  - электронно-дырочные структуры
KW  - Ионное легирование
KW  - диффузия
KW  - контактные системы
KW  - защита поверхности полупроводников
KW  - покрытия полупроводников органические
KW  - учебные издания
N1  - Библиогр.: с. 287
UR  - http://sun.tsu.ru/limit/2016/000415496/000415496.pdf
ER  -