Пичугин И. Г. Технология полупроводниковых приборов : [учебное пособие для вузов по специальностям "Полупроводники и диэлектрики" и "Полупроводниковые и микроэлектронные приборы"] / И. Г. Пичугин, Ю. М. Таиров. - Москва : Высшая школа, 1984. - 287, [1] с.. URL: http://sun.tsu.ru/limit/2016/000415496/000415496.pdf