TY  - BOOK
AU  - Авдеев,Сергей Петрович
AU  - Авилов,Вадим Игоревич
AU  - Агеев,Владислав Олегович
AU  - Коноплев,Борис Георгиевич
TI  - Нанотехнологии в микроэлектронике
SN  - 9785020402010
PY  - 2019///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - наноматериалы
KW  - элементная база электроники
KW  - сверхбольшие интегральные схемы
KW  - ультрабольшие интегральные схемы
KW  - сенсоры многоосевые микромеханические
KW  - нанопьезоэлектроника
KW  - сенсорика микроэлектронная
KW  - нейроморфные системы
KW  - микроэлектроника вакуумная
KW  - нанотехнологии
KW  - эпитаксия молекулярно-лучевая
KW  - лазерное осаждение импульсное
KW  - плазмохимическое осаждение
KW  - сканирующая зондовая микроскопия
KW  - нанолитография зондовая
KW  - ионные пучки фокусированные, метод
KW  - электронно-лучевая обработка
KW  - планарные технологии поверхностной обработки
KW  - углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, получение
KW  - углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, нанодиагностика
KW  - углеродные нанотрубки вертикально ориентированные, материал наноэлектроники
KW  - наноструктуры самоорганизующиеся, формирование
KW  - нанокристаллические пленки, осаждение
KW  - наноструктуры титана оксидные, эффект мемристорный
KW  - поверхности атомарно-гладкие, формирование
KW  - подложки монокристаллические карбида кремния
KW  - нанокомпозиты полимерные, электропроводность
KW  - наноструктуры автоэмиссионные графеновых пленок
KW  - графеновые пленки
KW  - интегральные логические схемы сверхбыстродействующие
KW  - интегральные логические схемы на основе туннельно-связанных квантовых областей
KW  - наномеханические гироскопы
KW  - наномеханические акселерометры
KW  - датчики инерциальные, технология изготовления
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр. в конце гл
ER  -