TY  - BOOK
AU  - Воротынцев,Владимир Михайлович
AU  - Скупов,Владимир Дмитриевич
TI  - Базовые технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"
SN  - 13820000993296
PY  - 2018///
CY  - Москва
PB  - Проспект
KW  - учебные пособия для вузов
KW  - радиоэлектронная аппаратура
KW  - микроэлектроника
KW  - высокочистые материалы для электронной техники
KW  - глубокая очистка
KW  - химические методы
KW  - электрохимические методы
KW  - дистилляционные методы
KW  - кристаллизационные методы
KW  - технологические схемы
KW  - полупроводниковые подложки, обработка
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - контроль качества подложек
KW  - полупроводники, технология получения
KW  - химическое травление полупроводников
KW  - полирование полупроводников
KW  - приборные структуры, формирование
KW  - эпитаксиальные методы
KW  - осаждение диэлектрических слоев
KW  - литографические процессы
KW  - диффузионное легирование полупроводников
KW  - ионно-лучевое легирование полупроводников
KW  - осаждение тонких пленок
KW  - радиационно-термические обработки
KW  - кремний на диэлектрике, структуры
KW  - наноразмерные твердотельные композиции, квантовое описание
KW  - квантоворазмерные структуры
KW  - микротехнологии в микросистемной технике
KW  - нанотехнологии в микросистемной технике
KW  - материалы микроэлектроники, структурные дефекты
KW  - дефекты в кристаллах, классификация
KW  - кристаллы бездислокационные
KW  - дефектообразование в приборных структурах
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -