TY  - SER
AU  - Вилисова,Мария Дмитриевна
AU  - Великовский,Леонид Эдуардович
AU  - Сим,Павел Евгеньевич
AU  - Брудный,Павел Александрович
AU  - Брудный,Валентин Натанович
TI  - Электрофизические и физико-химические свойства омических контактов для соединений III-N
KW  - нитрид галлия
KW  - металлизация
KW  - омические контакты
KW  - зарядовая нейтральность
KW  - обработка поверхности
KW  - физико-химические свойства
KW  - электрофизические свойства
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 53 назв; Ограниченный доступ
N2  - Проведен анализ экспериментальных данных по исследованию омических контактов на основе однослойных и многослойных металлизаций к GaN и твердым растворам (In, Al, Ga)N. Экспериментально исследованы металлизации Ti/Al/Mo/Au и Ti/Al/Mo/W/Au к нелегированному GaN и влияние обработки поверхности пластин GaN перед металлизацией, а также режима отжига контакта
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661233
ER  -