TY  - SER
AU  - Сачков,Виктор Иванович
AU  - Сосновский,Сергей Александрович
AU  - Жек,Валентина Владимировна
AU  - Малиновская,Татьяна Дмитриевна
TI  - Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок
KW  - магнетронное распыление
KW  - оксидные мишени
KW  - термодинамическое моделирование
KW  - оксид индия
KW  - оксид диспрозия
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 6 назв; Ограниченный доступ
N2  - Проведено термодинамическое исследование плазмохимических процессов в магнетроне при распылении мишеней, состоящих из оксидов индия и диспрозия, которое позволило выяснить принципиальную возможность образования при заданных условиях тех или иных количеств образуемых химических соединений In2O3, Dy2O3, DyInO3. Для проведения термодинамического анализа равновесных составов при магнетронном напылении пленок была использована универсальная программа TЕRRA
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661206
ER  -