Термодинамическое исследование влияния состава мишеней и условий их магнетронного распыления на фазовый состав получаемых пленок / Т. Д. Малиновская, В. И. Сачков, С. А. Сосновский, В. В. Жек // Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 7. С. 52-57. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000661206