TY  - BOOK
AU  - Груздов,Вадим Владимирович
AU  - Колковский,Юрий Владимирович
AU  - Концевой,Юлий Абрамович
TI  - Контроль новых технологий в твердотельной СВЧ электронике
SN  - 9785948364261
PY  - 2017///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
KW  - радиоэлектронная аппаратура
KW  - СВЧ транзисторы, проектирование
KW  - СВЧ транзисторы, производство
KW  - технологическая безопасность
KW  - стандарты отечественные
KW  - стандарты зарубежные
KW  - СВЧ-транзисторы на широкозонных полупроводниках
KW  - полупроводниковые материалы, свойства
KW  - полупроводниковые материалы, технология создания
KW  - контроль входной
KW  - контроль технологический
KW  - контроль подложек
KW  - гетероэпитаксиальные структуры
KW  - СВЧ приборы, элементы конструкции
KW  - СВЧ приборы, исходные материалы
KW  - контроль электрический
KW  - контроль тепловой
KW  - выявление дефектов, методы
KW  - оптическая микроскопия
KW  - Эллипсометрия
KW  - спектральная зависимость оптической рефракции
KW  - оптический контроль шлифов
KW  - гетероструктуры широкозонных материалов, качество
KW  - омические контакты, качество
KW  - рентгеновский контроль
KW  - электронная микроскопия
KW  - атомно-силовая микроскопия
KW  - пространственное распределение элементов гетероструктур
KW  - электронная спектроскопия
KW  - ионная спектроскопия
KW  - СВЧ аппаратура на нитрид-галлиевых приборах
N1  - Библиогр.: с. 302-327
ER  -