TY  - BOOK
AU  - Капустин,Владимир Иванович
AU  - Сигов,Александр Сергеевич
TI  - Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур: учебное пособие : [для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" и направлениям подготовки магистров 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"]
T2  - Высшее образование. Бакалавриат
SN  - 9785160138060
PY  - 2019///
CY  - Москва
PB  - ИНФРА-М
KW  - наноматериалы, промышленное производство
KW  - наноструктуры, промышленное производство
KW  - нанопорошковые материалы, технологии
KW  - наноматериалы, технологии
KW  - наноструктуры эпитаксиальные, дефекты
KW  - эпитаксиальные технологии наноструктур
KW  - ионно-плазменные технологии наноструктур
KW  - аналитические методы анализа наноматериалов, виды
KW  - взаимодействие электронов с твердым телом
KW  - взаимодействие ионов с твердым телом
KW  - взаимодействие фотонов с твердым телом
KW  - наноматериалы, структура кристаллическая
KW  - наноматериалы, контроль структуры
KW  - наночастицы, контроль размеров
KW  - наноструктуры, контроль размеров
KW  - наноматериалы, контроль элементного состава
KW  - наноматериалы, химические связи
KW  - наноматериалы, структура электронная
KW  - дефекты кристаллической структуры (наноматериалы)
KW  - нанопорошки оксидов
KW  - нанопорошки нитридов металлов
KW  - нанопорошки чистых металлов
KW  - планарные технологии, типы
KW  - наноструктуры электроники
KW  - спектроскопические методы анализа (наноматериалы)
KW  - рентгеноструктурный анализ
KW  - физика поверхности твердого тела
KW  - электронная микроскопия
N1  - Библиогр.: с. 238-240
ER  -