Капустин В. И. Технология производства и контроль качества наноматериалов и наноструктур : учебное пособие : [для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки бакалавров 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника" и направлениям подготовки магистров 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника", 28.04.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника"] / В. И. Капустин, А. С. Сигов ; МИРЭА - Рос. технолог. ун-т. - Москва : ИНФРА-М, 2019. - 243 с.: ил., табл. - ( Высшее образование. Бакалавриат ) - ( Электронно-библиотечная система "Znanium.com" )