Кузнецов В. М. Особенности структуры покрытий нитрида титана в разрезах поверхности подложки / В. М. Кузнецов, С. В. Овчинников, В. А. Слабодчиков // Известия высших учебных заведений. Физика. 2018. Т. 61, № 11. С. 51-61. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000668054