TY  - BOOK
AU  - Александров,Леонид Наумович
TI  - Рост и легирование полупроводниковых кристаллов и пленок: [сборник статей]
PY  - 1977///
CY  - Новосибирск
PB  - Наука, Сибирское отделение
KW  - рост кристаллов полупроводников
KW  - полупроводниковые пленки
KW  - эпитаксиальные пленки, неоднородности
KW  - сверхструктуры, образование
KW  - кристаллизация тонких пленок
KW  - кристаллизация полупроводников
KW  - автоэпитаксиальные слои
KW  - кинетика роста кристаллов
KW  - кристаллы нитевидные
KW  - рост пленок в вакууме
KW  - эпитаксиальные слои, выращивание
KW  - эпитаксиальные пленки полупроводниковые
KW  - полупроводниковые пленки, легирование
KW  - эпитаксиальные пленки полупроводниковые, дефекты
KW  - эпитаксия жидкофазная, примеси
KW  - эпитаксия жидкофазная, дефекты
KW  - дислокации в кристаллах
KW  - дислокации в монокристаллах
KW  - монокристаллы полупроводникв
KW  - примеси в полупроводниках
KW  - рост кристаллов, методики
KW  - микронеоднородности полупроводников, исследования
KW  - эпитаксиальные пленки, зародышеобразование
KW  - полупроводниковые кристаллы, неоднородности
KW  - полупроводниковеы пленки, синтез
KW  - ионно-плазменное испарение, метод
N1  - Библиогр. в конце ст
ER  -