TY  - BOOK
AU  - Иванов,Юрий Александрович
AU  - Лебедев,Юрий Анатольевич
AU  - Полак,Лев Соломонович
AU  - Асиновский,Эрик Иванович
TI  - Методы контактной диагностики в неравновесной плазмохимии
PY  - 1981///
CY  - Москва
PB  - Наука
KW  - плазма [физ.] низкотемпературная неравновесная
KW  - плазмохимия
KW  - диагностика плазмы контактная
KW  - электрические зонды
KW  - функции распределения электронов по энергиям
KW  - пленки полимерные, кинетика роста
KW  - плазма пленкообразующая
KW  - термозонды, метод
KW  - плазмохимические системы
KW  - плазмохимические реакции
KW  - диэлектрические пленки
KW  - полупроводниковые пленки
N1  - В надзаг.: АН СССР, Ин-т нефтехим. синтеза им. А. В. Топчиева; Библиогр.: с. 133-142
ER  -