TY - SER AU - Калыгина,Вера Михайловна AU - Новиков,Вадим Александрович AU - Прудаев,Илья Анатольевич AU - Толбанов,Олег Петрович AU - Тяжев,Антон Владимирович AU - Лыгденова,Туяна Зоригтоевна TI - Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением KW - оксид галлия KW - фазовый состав KW - морфология поверхности KW - вольтамперные характеристики KW - статьи в журналах N1 - Библиогр.: 4 назв; Доступ в сети ТГУ N2 - Представлены результаты анализа структуры и фазового состава пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением. Показано, что в интервале 290-350 К рост проводимости пленок с повышением температуры обусловлен возбуждением электронов с локального уровня Еt, расположенного на 0.95 эВ ниже дна зоны проводимости UR - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000634946 ER -