Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением / Т. З. Лыгденова, В. М. Калыгина, В. А. Новиков [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2017. Т. 60, № 11. С. 56-60. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000634946