Слабодчиков В. А. Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением / В. А. Слабодчиков, С. В. Овчинников, В. М. Кузнецов // Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций : международная конференция, 9-13 октября 2017 года, Томск, Россия : тезисы докладов. Томск, 2017. С. 456. URL: http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000633237