TY  - BOOK
AU  - Тимофеев,Владимир Николаевич
AU  - Погалов,Анатолий Иванович
AU  - Угольников,Сергей Викторович
TI  - Техническая механика микросистем: учебное пособие : [для студентов вузов по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"
SN  - 9785996306367
PY  - 2014///
CY  - Москва
PB  - БИНОМ. Лаборатория знаний
KW  - колебания механических систем
KW  - колебания гармонические
KW  - колебания собственные
KW  - колебания вынужденные
KW  - напряженно-деформированные состояния
KW  - несущие элементы приборов
KW  - микромеханические приборы
KW  - пластины
KW  - балочные опоры
KW  - демпфирование колебаний
KW  - электромеханика микросистем
KW  - датчики давления
KW  - микроакселерометры
KW  - гироскопы микромеханические
KW  - зеркало микромеханическое с карданным подвесом
KW  - микросистемные устройства
KW  - инженерный анализ
N1  - Авт. указ. на обороте тит. л; Библиогр.: с. 173-174
ER  -