Техническая механика микросистем : учебное пособие : [для студентов вузов по направлению подготовки дипломированных специалистов 210100 "Электроника и микроэлектроника" по специальностям 210108 "Микросистемная техника" и 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Тимофеев В. Н., Погалов А. И., Угольников С. В. и др.] ; под ред. В. Н. Тимофеева ; [Моск. гос. ин-т электрон. техники (техн. ун-т)]. - 2-е изд.. - Москва : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 176 с.: ил., табл.