TY  - GEN
AU  - Алмаев,Алексей Викторович
TI  - Влияние влажности окружающей среды на проводимость сенсоров водорода на основе тонких пленок диоксида в режиме термоциклирования
KW  - микроэлектроника
KW  - наноэлектроника
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - влажность
KW  - полупроводниковые сенсоры
KW  - тонкие пленки
KW  - термоциклирование
KW  - газовые сенсоры
N1  - Библиогр.: 4 назв
ER  -