TY  - BOOK
AU  - Грибков,Владимир Алексеевич
AU  - Григорьев,Федор Иосифович
AU  - Калин,Борис Александрович
AU  - Якушин Владимир Леонидович
TI  - Перспективные радиационно-пучковые технологии обработки материалов: [учебник для студентов вузов, обучающихся по специальностям: "Физика металлов", "Физика твердого тела", "Электронное машиностроение" ]
SN  - 5886710507
PY  - 2001///
CY  - Москва
PB  - Круглый год
KW  - электронные учебники для вузов
KW  - обработка материалов
KW  - радиационно-пучковые технологии
KW  - ионные пучки
KW  - низкотемпературная плазма
KW  - ионно-плазменные технологии
KW  - концентрированные потоки энергии
KW  - взаимодействие ионов с твердым телом
KW  - физические процессы
KW  - напыление лазерное
KW  - распыление порошков
KW  - нагрев высокотемпературный
KW  - плавление металлов
KW  - испарение материалов
KW  - ускорители частиц
KW  - электронно-лучевые установки
KW  - ионно-лучевые установки
KW  - плазменные установки
KW  - ионно-плазменные установки
KW  - полупроводники
KW  - металлы
KW  - ионные пучки мощные
KW  - ионная имплантация
KW  - радиационные дефекты полупроводников
KW  - отжиг дефектов полупроводников
KW  - изменение свойств полупроводников
KW  - электронно-лучевая обработка
KW  - пленки тонкие
KW  - покрытия защитные
KW  - модифицирование покрытий
KW  - высокотемпературная плазма
KW  - плазменная обработка материалов
KW  - лазерные излучения
KW  - лазерная сварка
KW  - лазерная резка
KW  - легирование лазерное
KW  - радиационно-пучковый синтез материалов
KW  - ионно-плазменные процессы
N1  - Библиогр.: с. 500-507; Предм. указ. с. 508-520
UR  - http://sun.tsu.ru/limit/2017/000555861/000555861.pdf
ER  -