TY  - BOOK
AU  - Савинов,Владимир Павлович
TI  - Физика высокочастотного емкостного разряда
SN  - 9785922115513
PY  - 2013///
CY  - Москва
PB  - Физматлит
KW  - высокочастотные емкостные разряды
KW  - электрический пробой газа
KW  - плазма разряда
KW  - электрические разряды пространственные
KW  - транспорт электронов плазмы
KW  - электронные пучки приэлектродные
KW  - диагностика высокочастотных емкостных разрядов
N1  - Библиогр.: с. 297-307
ER  -