TY  - BOOK
AU  - Ефремов,Александр Михайлович
AU  - Светцов,Владимир Иванович
TI  - Неравновесная плазма хлора: свойства и применение
T2  - Фундаментальная и прикладная физика
SN  - 9785922114066
PY  - 2012///
CY  - Москва
PB  - Физматлит
KW  - Плазма(физ.) низкотемпературная
KW  - Кинетика
KW  - nlr_sh1
KW  - Газовые разряды в хлоре
KW  - Травление
KW  - Применение в производстве микросхем
KW  - плазменное травление
KW  - плазма хлора неравновесная низкотемпературная
KW  - плазменные процессы гетерогенные
KW  - электронный газ
KW  - частицы заряженные
KW  - частицы нейтральные
KW  - плазмообразующие смеси
KW  - взаимодействие частиц плазмы с металлами
KW  - взаимодействие частиц плазмы с полупроводниками
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -