TY  - BOOK
AU  - Блинов,Иван Григорьевич
AU  - Кожитов,Лев Васильевич
TI  - Оборудование полупроводникового производства: [учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов]
T2  - Для вузов
PY  - 1986///
CY  - Москва
PB  - Машиностроение
KW  - учебные издания для вузов
KW  - производство полупроводниковых приборов
KW  - производство интегральных микросхем
KW  - технологическое оборудование
KW  - нагрев изделий
KW  - вакуумные системы
KW  - газовые системы
KW  - выращивание монокристаллов полупроводников
KW  - кристаллизационные установки
KW  - оборудование для обработки поверхностей
KW  - диффузионно-окислительные системы
KW  - системы ионной имплантации
KW  - эпитаксиальные преобразователи
KW  - фотолитографическое оборудование
KW  - оборудование для осаждения пленок
KW  - монтажно-сборочное оборудование
KW  - автоматизация производства
KW  - промышленные роботы
N1  - Библиогр.: с. 256-258; Предм. указ.: с. 259-263
ER  -