Блинов И. Г. Оборудование полупроводникового производства : [учебное пособие для студентов приборостроительных специальностей вузов] / И. Г. Блинов, Л. В. Кожитов. - Москва : Машиностроение, 1986. - 262, [1] с.: рис., табл. - ( Для вузов )