TY  - GEN
AU  - Анищенко,Екатерина Валентиновна
AU  - Еремина,Нина Степановна
AU  - Мокроусов,Геннадий Михайлович
TI  - Литографические характеристики позитивного фоторезиста на основе нафтохинондиазида в зависимости от условий нанесения и обработки поверхности подложки
KW  - труды ученых ТГУ
KW  - химическое материаловедение
KW  - литография
KW  - резистивные пленки
N1  - Библиогр.: 6 назв
ER  -