TY  - SER
AU  - Третьяков,Никита Николаевич
AU  - Сладкопевцев,Борис Владимирович
AU  - Кострюков,Виктор Федорович
AU  - Студеникина,Юлия Игоревна
AU  - Миттова,Ирина Яковлевна
AU  - Козик,Владимир Васильевич
ED  - Томский государственный университет
TI  - Определение толщины и фазового состава пленок, синтезированных хемостимулированным термооксидированием InP под воздействием композиции оксидов V2O5+MnO 2 разного состава
KW  - фосфид индия
KW  - оксид ванадия
KW  - оксид марганца
KW  - термическое оксидирование
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 9 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000516113
ER  -