TY  - SER
AU  - Крысина,Ольга Васильевна
AU  - Лопатин,Илья Викторович
AU  - Шугуров,Владимир Викторович
AU  - Коваль,Николай Николаевич
ED  - Томский государственный университет
ED  - Томский государственный университет
TI  - Генерация низкотемпературной плазмы дуговых разрядов низкого давления для синтеза износостойких нитридных покрытий
KW  - дуговой разряд
KW  - газометаллическая плазма
KW  - плазма
KW  - вакуумно-дуговое осаждение
KW  - плазменное ассистирование
KW  - нитридные покрытия
KW  - статьи в журналах
N1  - Библиогр.: 15 назв
UR  - http://vital.lib.tsu.ru/vital/access/manager/Repository/vtls:000502137
ER  -