TY  - BOOK
AU  - Детинко,Михаил Владимирович
AU  - Медведев,Юрий Васильевич
AU  - Петров,Алексей Сергеевич
ED  - Сибирский физико-технический институт им. В. Д. Кузнецова (Томск)
ED  - Томский государственный университет.
TI  - Физические основы неразрушающего СВЧ-резонаторного метода локального контроля электрофизических параметров полупроводников
T2  - Препринт
PY  - 1988///
CY  - Томск
PB  - Издательство Томского университета
KW  - полупроводниковые материалы
KW  - электрофизические параметры полупроводников, измерение
KW  - резонаторы измерительные, теория
KW  - резонаторы измерительные, конструкции
KW  - диэлектрическая проницаемость полупроводников на СВЧ
KW  - поглощение электромагнитного поля полупроводниками
KW  - преобразователи измерительные радиоволновые
KW  - измерительные приборы неразрушающего контроля
N1  - Библиогр.: с. 27-29
ER  -